Os alvos de pulverização catódica de titânio são feitos de metal titânio e são usados em processos de revestimento por pulverização catódica.
Os materiais alvo de titânio são comumente usados em revestimentos de ferramentas de hardware, revestimentos decorativos, revestimentos de componentes semicondutores e revestimentos de telas planas. Existem dois métodos principais para fabricar alvos de pulverização catódica de titânio: método de fusão e método de fundição.
Fusão:Aquecer o metal a alta temperatura até que se torne líquido. Em seguida, despeje no molde e esfrie para formar um material alvo solidificado.
Fundição:Coloque o metal em uma câmara de vácuo e bombardeie-o com partículas de alta energia. Isso fará com que o metal evapore e, quando esfriar, condensará na superfície alvo.
É um dos principais materiais para a preparação de circuitos integrados e sua pureza geralmente é exigida acima de 99,99%. A AEM fornece alvos de liga de titânio, como alvos de pulverização catódica de titânio de tungstênio (W/Ti 90/10% em peso), que são materiais importantes nas indústrias de semicondutores e solar. A densidade dos alvos de pulverização catódica W/Ti pode atingir mais de 14,24 g/cm3 e a pureza pode chegar a 99,995%.
Características
1. Alta pressão:Os materiais alvo de pulverização catódica de titânio têm alta densidade, alta resistência ao calor e alta pressão, o que pode manter seu desempenho em ambientes complexos.
2. Estabilidade química:Os materiais alvo de titânio têm boa estabilidade química e longa vida útil.
3. Alto custo:Os materiais alvo de titânio têm custos elevados, mas devido ao seu excelente desempenho, são amplamente utilizados em campos de alta tecnologia.
Campos de aplicação
1. Campo semicondutor:O material alvo de pulverização catódica de titânio é uma das matérias-primas importantes no processo de fabricação de chips semicondutores e é um material chave para a fabricação de componentes como transistores e circuitos.
2. Campo industrial:Os materiais alvo de titânio podem ser usados para produzir revestimentos de alta qualidade, materiais anticorrosivos, etc., e são amplamente utilizados em áreas como automóveis e manufatura.
3. Área médica:Os materiais alvo de titânio possuem características como biocompatibilidade e biodegradabilidade e podem ser usados para fabricar dispositivos médicos, como articulações artificiais e implantes dentários.
Em resumo, o alvo de pulverização catódica de titânio é um material importante amplamente utilizado nas áreas de semicondutores, industrial e médica. Devido ao seu excelente desempenho e alto custo, ainda existe um grande potencial de desenvolvimento no futuro.
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